青岛制造！中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪上市

信网3月21日讯(记者 王田)近日，致真精密仪器(青岛)有限公司(以下简称致真精密仪器)研制出的中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪正式上市，打破了美国企业在该领域的垄断，标志着磁性芯片量产所需的光学检测设备从此实现自主可控。检测设备的应用贯穿于芯片制造全流程，是保障芯片制造工艺稳定、产品合格的关键。此次上市的产业级晶圆磁光克尔测量仪是用于芯片制造过程中检测的关键设备，经第三方测评，其检测速度和精度均优于国际水平。

致真精密仪器成立于2019年，是北京航空航天大学孵化的国家高新技术企业。主要业务为微电子领域测试设备的研发制造和销售，包括磁性芯片产线测试设备和高端科研仪器。依托产学研协同合作优势，致真精密仪器在2020年研制出中国首款商用磁光克尔显微镜，分辨率达到300纳米，可用于检测磁性材质质量、辨识缺陷位置等，适用于磁性芯片等磁性材料器件的测试和产品研发。并相继研发完成高精度磁滞回线测量仪、晶圆级磁场探针台、晶圆级磁性测量仪等多款高科技产品，已与清华大学、中国科学院物理研究所等建立了密切的合作关系。

下一步，青岛市工业和信息化局将依托本地晶圆制造、封测项目，大力发展配套设备业，大力支持国产配套设备研发攻关和上线认证，加快引进国内外集成电路关键设备生产企业，为构建集成电路全产业链生态体系提供重要支撑，着力打造北方集成电路产业高地。